度盘应力仪WYL-3参数:
应力测量范围:560nm(一级干涉光)以下;
定性位置:全波长光程差560nm;
检偏镜通光口径:直径150mm;
台面玻璃通光口径:直径220mm;
可测量样品最大高度:250mm;
定性位置:应力测量范围:280nm(一级干涉光)以下:
分辨率:0.2nm
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度盘应力仪WYL-3参数:
应力测量范围:560nm(一级干涉光)以下;
定性位置:全波长光程差560nm;
检偏镜通光口径:直径150mm;
台面玻璃通光口径:直径220mm;
可测量样品最大高度:250mm;
定性位置:应力测量范围:280nm(一级干涉光)以下:
分辨率:0.2nm